株式会社T.S.D.

T.S.D.は小型・高トルク・静音性の高い超音波モータとその応用製品の販売と
低コストで高品質な製造技術を提供し、お客様の製品開発をサポートします。

製品紹介

ご利用ガイド

精密位置決めステージ:USR-STG30

USR-STG30シリーズ(以下、本ステージ)は静音で、高保持トルクを持ち、応答性に優れる超音波モータと独自設計のステージを組み合わせた精密位置決めステージです。
駆動用アクチュエーターとして新生工業製超音波モータを採用しており、静音でありながら最高速度:6[mm/sec],最少位置決め精度:0.07[μm]でステージの位置制御が可能です。また、本ステージの最大の特徴として電源OFF や停電による非通電時に、ステージが維持できる最大トルク:100[N]でステージの位置を保持できます。この特徴により、不意の事故を防止するだけでなく、ステージの移動が不要な際の電源OFFによる全システムの省電力化への貢献が期待できます。
本ステージと弊社製コントローラ:USR-MCシリーズと組み合わせることでセミクローズドループのフィードバック機能を備えた位置決めシステムを装置側の工事無しに構築することが可能です。

精密位置決めステージ:USR-STG30

特徴

位置決めステージに対して制御レベルと分解能、価格を考慮すると右の分布図になります。弊社製ステージは駆動アクチュエータである超音波モータに搭載されたエンコーダを利用してセミクローズドフィードバックによる位置決めを実現し、弊社製コントローラ と組み合わせることで価格を迎えながら速度追従型の高精度位置決めシステムの実現が可能です。 また、非磁性超音波モータを採用して、非磁性対応ステージの構築が可能です。

精密位置決めステージの分布

本ステージの特徴:

◎高い位置決め精度
分解能0.07[μm]
◎ステージの最高速度
6[mm/sec]
◎移動時の最大可搬重量
100[N]
◎静止時、非通電時の最大保持力
100[N]以上
◎弊社製コントローラろ組み合わせてフィードバック制御が可能
◎2台を連結し、XYステージとして利用可能
◎非磁性超音波モータを組み合わせて非磁性対応ステージを構築可能
 

仕様

形式USR-STG3005 USR-STG3010USR-STG3036
テーブルサイズ110[mm]×110[mm]
テーブル移動量50[mm]
最小分解能0.5[μm] 0.25[μm]0.07[μm]
繰り返し位置決め精度±0.5[μm]±0.25[μm]±0.07[μm]
最高速度6[mm/sec]
ボールネジリード:1[mm]
テーブルサイズ110[mm]×110[mm]
移動ガイド精密クロスローラガイド
水平耐荷重動作時:100[N](10[Kgf])、静止時・非通電時:100[N](10[Kgf])以上
センサステージ本体にStart Limit、End Limitスイッチ内臓
特殊機能非通電時に水平耐荷重と同等の保持トルク有り、非磁性・弱磁性版製造可
主材質アルミ合金
最高速度6[mm/sec]
表面処理黒アルマイト
サイズ(W×D×H)190[mm]×110[mm]×40[mm]
質量1.4[Kg]
コネクタ高密度D-Sub15pin
駆動モータUSR30-E3USR30-E3TUSR30-E3R

USR-STG30上面

USR-STG30側面